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淄博建元泵业有限公司 |
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| 发布时间：2025.09.29 新闻来源： 浏览次数： | ||||||
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耐腐蚀真空泵是针对腐蚀性气体 / 液体（如酸雾、有机溶剂、含 Cl⁻介质） 设计的真空设备，其核心是通过 “材质耐腐”“结构防泄漏”“介质隔离” 等设计，避免泵体、转子、密封件被腐蚀。根据工作原理、结构形式及适用介质特性，主流分类可分为以下 6 类，各类别在耐腐能力、真空度、抽速等方面差异显著，需结合具体工况选择： 一、化学密封泵（磁力驱动泵）：无轴封泄漏，适合强腐蚀介质
核心原理
通过 “磁力耦合” 传递动力：泵轴分为内、外两部分，外部电机带动外磁钢旋转，磁场穿透隔离套（耐腐蚀材质）驱动内磁钢及转子旋转，无传统轴封（如机械密封、填料密封） ，从根本上避免腐蚀性介质通过轴封泄漏。
耐腐设计关键点
过流部件（泵体、叶轮、隔离套）均采用氟塑料（PTFE、PFA）、陶瓷（氧化铝、碳化硅）、哈氏合金等强耐腐材质；
隔离套是核心部件，需同时满足 “耐腐”“高强度”（抵抗磁场力与介质压力），常用 PFA 或哈氏合金材质。
适用场景
介质：强腐蚀性液体 / 气体（如浓盐酸、氢氟酸、硝酸、有机溶剂蒸汽）、含固体颗粒的腐蚀性浆料；
行业：化工反应釜真空抽滤、电镀槽酸雾回收、半导体蚀刻工艺尾气处理。
优缺点
优点：零泄漏（适合有毒 / 易燃腐蚀介质）、结构紧凑、维护简单（无轴封磨损）；
缺点：真空度有限（绝压通常≥1kPa，无法达到高真空）、抽速较小（通常≤100m³/h）、磁场可能受高温影响（适用温度≤150℃）。
二、隔膜真空泵：介质与运动部件完全隔离，耐腐性极强
核心原理
通过 “弹性隔膜往复 / 旋转运动” 改变泵腔容积：隔膜（耐腐弹性材质）将泵腔分为 “气腔（接触腐蚀介质）” 和 “油腔 / 驱动腔（非接触）”，驱动机构（电机、凸轮）带动隔膜运动，实现 “吸气 - 排气” 循环，介质仅接触隔膜和泵腔（均为耐腐材质） 。
耐腐设计关键点
隔膜材质：根据介质选择 —— 强酸 / 有机溶剂选PTFE 隔膜，中等腐蚀介质选氟橡胶（FKM）隔膜，弱腐蚀选三元乙丙橡胶（EPDM） ；
泵腔材质：PTFE、PFA、聚丙烯（PP）或陶瓷，避免金属部件直接接触介质。
优缺点
优点：介质隔离彻底（无泄漏、无污染）、可实现无油真空（适合洁净场景）、耐腐性适配范围广；
缺点：高真空性能差（难以达到＜0.1kPa 的绝压）、隔膜易老化（需定期更换，尤其在高温 / 强溶剂环境）。
三、液环真空泵（水环 / 耐腐液环）：以液体为密封介质，适合气液混合场景
核心原理
电机带动叶轮旋转，泵腔内的 “密封液体（如水、耐腐溶液）” 在离心力作用下形成 “液环”，液环与叶轮叶片形成封闭的小腔室；叶轮旋转时，小腔室容积周期性变化（扩大 - 吸气，缩小 - 排气），实现抽真空。
耐腐设计关键点
普通水环泵（不耐腐）：过流部件为铸铁 / 不锈钢，仅适合中性气体；
耐腐液环泵：过流部件（泵体、叶轮、端盖）采用不锈钢 316L、哈氏合金、氟塑料衬里；
密封液体选择：若介质为强腐蚀气体，需用 “耐腐密封液”（如稀硫酸、乙二醇溶液）替代水，避免液体与介质反应。
适用场景
介质：含大量水汽的腐蚀气体（如化工蒸馏尾气、湿法脱硫后的烟气）、气液混合物（如反应釜排气带液）；
行业：化工、环保、制药（如真空干燥带腐蚀性蒸汽的物料）。
优缺点
优点：结构简单（故障率低）、可抽气液混合物（不易堵塞）、运行温度低（适合热敏性介质）；
缺点：真空度低（绝压≥3kPa，水环泵通常为 10kPa）、抽速受密封液温度影响大（温度升高，真空度下降）、需定期补充密封液。
四、螺杆真空泵：无油、高真空，适合中强腐蚀气体
核心原理
两根 “阴阳螺杆” 在泵腔内高速反向旋转，通过螺杆齿面与泵腔壁形成的 “密封腔” 从进气端向排气端移动，腔室容积逐渐缩小，将气体压缩排出；无油设计（螺杆间无润滑油，靠间隙密封） ，避免油被腐蚀介质污染。
耐腐设计关键点
螺杆与泵腔材质：采用双相不锈钢（2205）、哈氏合金 C276、氮化处理不锈钢（表面硬度高，耐腐性提升）；
密封件：轴封采用 “PTFE 包覆的机械密封” 或 “磁力密封”，避免介质通过轴封渗透；
内部涂层：部分高端型号在螺杆表面涂覆PTFE 或陶瓷涂层，增强耐腐性（适合含 Cl⁻、氟化物的介质）。
适用场景
介质：中强腐蚀气体（如半导体行业的 SiCl₄、HF 尾气，化工行业的甲醇、乙酸蒸汽）、洁净无颗粒的腐蚀气体；
行业：半导体、光伏、精细化工（需高真空且无油污染的场景）。
优缺点
优点：真空度高（绝压可达 0.001kPa，接近高真空）、抽速大（可达 1000m³/h）、无油（适合洁净工艺）；
缺点：对固体颗粒敏感（易卡涩螺杆）、成本高（材质与加工精度要求高）、维护难度大（螺杆磨损后需专业修复）。
五、罗茨真空泵（耐腐型）：高抽速、中高真空，适合低腐蚀气体
核心原理
两根 “8 字形转子” 在泵腔内同步反向旋转，转子与转子、转子与泵腔壁之间保持微小间隙（无接触），通过 “吸气 - 压缩 - 排气” 的容积变化抽气；通常作为 “增压泵”，与前级泵（如液环泵、隔膜泵）配合使用，提升系统真空度。
耐腐设计关键点
转子与泵体材质：轻度腐蚀场景选不锈钢 316L，中度腐蚀选哈氏合金，或在铸铁表面做 “环氧树脂涂层”“PTFE 衬里”；
密封与润滑：轴封采用 “耐腐机械密封”，轴承润滑采用 “耐腐润滑油”（如氟油），避免润滑油被介质污染。
适用场景
介质：低 - 中度腐蚀气体（如乙醇、丙酮蒸汽，弱酸性气体）、需大抽速的真空系统（如大型反应釜、真空镀膜）；
限制：不适合强腐蚀介质（如浓酸雾），否则转子与泵腔易被腐蚀，导致间隙增大、真空度下降。
优缺点
优点：抽速大（可达 5000m³/h）、中高真空（绝压 0.01kPa~1kPa）、运行稳定（无易损件）；
缺点：需配合前级泵使用（无法单独抽大气）、对介质纯度要求高（含颗粒 / 粘性介质易导致转子卡死）。
六、扩散真空泵：超高真空，适合特定耐腐场景
核心原理
通过 “高温油蒸汽喷射” 实现抽气：泵内的扩散泵油（或耐腐液体）被加热至蒸汽状态，从喷嘴高速喷出，带动气体分子向排气端运动；蒸汽冷却后回流至加热釜，循环使用；需配合前级泵（如罗茨泵），仅用于超高真空场景（绝压＜10⁻³Pa） 。
耐腐设计关键点
传统扩散泵：油蒸汽与介质接触，仅适合惰性气体（如真空镀膜的 Ar、N₂）；
耐腐扩散泵：采用 “耐腐工作液体”（如全氟聚醚油、氟化物液体），泵体材质为不锈钢 316L 或蒙乃尔合金，避免液体与腐蚀介质反应。
适用场景
介质：超高真空下的轻度腐蚀气体（如半导体离子注入工艺的尾气、航天模拟真空环境的气体处理）；
限制：不适合强腐蚀、含水汽 / 固体颗粒的介质（易导致工作液体变质、喷嘴堵塞）。
优缺点
优点：真空度极高（绝压可达 10⁻⁸Pa）、无机械运动部件（故障率低）；
缺点：需加热（能耗高）、启动慢（需预热 30-60 分钟）、适用场景极窄（仅超高真空）。 |
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