|  检测耐腐蚀真空泵气路是否泄漏,核心是通过 **“压力变化监测” 和 “泄漏点定位”** 两步实现,需结合真空泵的负压特性,选择适配的检测方法(如压力保压法、皂泡法),重点排查接头、阀门、密封件等易泄漏部位。 一、核心检测方法:先判断是否存在泄漏(系统级检测) 先通过整体气路的压力变化,确认是否存在泄漏,再进一步定位具体漏点,避免盲目排查。 1. 负压保压法(最常用,适用于所有负压气路) 利用真空泵自身的负压特性,通过监测气路压力回升速度判断是否泄漏,操作简单且无需额外设备。 操作步骤: 关闭真空泵出气口阀门,断开真空泵与气路的连接,在气路入口处安装真空压力表(精度≥0.1kPa,量程匹配气路工作负压,如 - 0.1MPa~0)。 用堵头密封气路所有开口(如取样口、备用接口),确保气路完全密闭。 启动临时真空泵(或利用原泵)将气路抽至工作负压(如 - 0.095MPa),关闭真空泵及气路阀门,记录初始压力值和时间。 静置 30-60 分钟,观察真空压力表读数变化: 合格标准:压力回升值≤0.5kPa/h(具体需参考设备要求,如高精度气路允许≤0.2kPa/h),说明泄漏量极小,满足使用要求; 泄漏判断:若压力快速回升(如 10 分钟内回升超 1kPa),证明气路存在明显泄漏,需进一步定位漏点。 2. 正压保压法(适用于气路可承受正压的场景) 若真空泵气路允许承受低压正压(如≤0.1MPa),可通过充入压缩空气监测压力下降,适用于负压保压法难以判断的微小泄漏。 操作步骤: 关闭气路所有阀门,在气路入口处连接压缩空气源(带减压阀)和精密压力表(精度≥0.001MPa)。 缓慢向气路充入压缩空气,使压力达到 0.05-0.1MPa(不超过气路最大承压),关闭气源阀门,记录初始压力和时间。 静置 30 分钟,观察压力变化: 合格标准:压力下降值≤0.005MPa/30min,无明显泄漏; 泄漏判断:压力下降超 0.01MPa/30min,说明存在泄漏。 二、漏点定位方法:精准找到泄漏位置(局部检测) 确认存在泄漏后,通过以下方法定位具体漏点,重点排查接头、密封件、焊缝等薄弱部位。 1. 皂泡法(直观定位,适用于低压气路) 通过涂抹肥皂水产生气泡,直接观察泄漏点,适合排查接头、阀门填料函、法兰密封面等部位。 操作步骤: 若为负压气路:按 “负压保压法” 将气路抽至 - 0.05~-0.08MPa,保持负压状态;若为正压气路:充压至 0.05MPa。 用毛刷将中性肥皂水(无腐蚀性,避免损坏气路材质)均匀涂抹在疑似泄漏部位(如接头螺纹、阀门阀芯、密封垫片处)。 观察 3-5 分钟:若某部位持续产生气泡(如气泡不断变大、脱落),即为泄漏点;若仅出现少量短暂气泡(如涂抹时带入的空气),则非泄漏。 2. 氦质谱检漏法(高精度定位,适用于微小泄漏) 当泄漏量极小(如≤1×10⁻⁸Pa・m³/s),皂泡法无法检测时,需用氦质谱检漏仪,适合对密封性要求高的气路(如半导体行业用耐腐蚀真空泵)。 操作步骤: 将气路抽至高真空(如≤1×10⁻³Pa),在气路外侧连接氦质谱检漏仪的检测口。 用氦气喷枪(流量控制在 50-100mL/min)在气路疑似漏点(如焊缝、密封件)处缓慢喷射氦气(氦气分子小,易穿透泄漏缝隙)。 若检漏仪显示氦气浓度突然升高(超过背景值 10 倍以上),则该位置为泄漏点,可精准定位至毫米级。 3. 烟雾检漏法(适用于大口径气路或复杂管路) 通过引入烟雾,观察烟雾溢出位置定位漏点,适合肉眼可见的中大型泄漏(如管路破裂、接头松动)。 操作步骤: 关闭气路阀门,在气路一端通入无毒烟雾发生器产生的白色烟雾(如丙二醇烟雾,无腐蚀性)。 在气路外侧观察,若某部位有烟雾持续溢出(如法兰间隙、阀门接口),即为泄漏点;对于隐蔽管路,可配合内窥镜观察。 三、关键注意事项:确保检测准确 气路预处理:检测前需清理气路内部杂质(如腐蚀性介质残留),避免损坏压力表或检漏仪;若气路材质为塑料、橡胶,需确认检测用介质(如肥皂水、氦气)无腐蚀性。 环境控制:负压保压法需在常温环境下进行(温度波动≤±5℃),避免温度变化导致气路内气体膨胀 / 收缩,影响压力读数(如环境温度升高会使负压值回升,误判为泄漏)。 密封件检查:检测后需重点检查易损密封件(如 O 型圈、垫片),若发现变形、老化(如橡胶密封件变硬、开裂),即使未检测到泄漏,也需及时更换,防止后续使用中出现泄漏。 |