耐腐蚀真空泵的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。

   耐腐蚀真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。

   渐开线转子泵利用率高，加工精度比较好控制，所以转子型线一般用渐开线型。耐腐蚀真空泵厂家介绍它的转速可高达3450～4100转/分；抽气速率是30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。​