耐腐蚀真空泵的构造和工作原理与罗茨鼓风机类似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空体系主抽泵相接。耐腐蚀真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不触摸，间隙通常为0.1～0.8毫米；不需要用润滑油。转子的型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率很高，加工精度容易保证，所以转子型线大部分用的是渐开线型。耐腐蚀真空泵的转速可高达3450～4100转/分；抽气的速率可达30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×10-2帕，双级为1×10-3帕。​