1、首先要关闭进气管阀门和工作液阀门；
2、其次要停止电机运行；
3、关闭机械密封冲洗管路中的阀门；
4、如果环境温度低于0℃，停机后应将泵体、分离器和所有管路中的液体排放干净；
5、如果闭式循环真空机组中注满工作液，会造成不锈钢真空泵启动困难。所以停泵之后必须保证液体不能从排气管，工作液供应管路等进入泵体和进气管。如排气侧配上置气水分离器时更应注意。如在其他安装情况或出现故障时不能确定泵内是否已注满工作液时启动前应先将泵内的工作液放净或保证工作液约占泵腔二分之一到三分之二。