闭式循环真空机组以罗茨泵为主泵，以循环泵为前级泵串联而成的。真空闭式循环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，不仅克服了单台水环泵运用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺陷，而且同时又保留了罗茨泵能迅速工作，有较大的抽气速率。它可以抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不足，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空体系不允许油污染时更为明显。如果配有防爆电机及电器时并遵循相应的安全规则下，还能够抽除易燃易爆的气体。
　 闭式循环真空机组能够广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶等；食品行业中的冷冻干燥；医药工业的真空干燥；轻纺工业的涤纶切片；高空模拟试验等的抽真空系统中。