防腐真空泵采用了轴与叶轮孔的牢固热装过盈配合及轴和轴承安全系数大，因而具有相当高的可靠性。采用焊接叶轮，轮毂与叶片全部加工，从根本上解决了动平衡问题。抽气速度快，体积校噪音低，重量轻，免维护。防腐真空泵具有良好的机械性能和加工性能外，还要满足其他性能的要求，即容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度、合适的辐射能力等。所以防腐真空泵具有特殊性，对清洁处理要求是极为严格的，应最大限度清除或减少零件的污染。