按材质划分

采用聚四氟乙烯（PTFE）材质：几乎能耐受所有强酸（如硫酸、硝酸、盐酸等）、强碱（如氢氧化钠、氢氧化钾等）、强氧化剂（如高锰酸钾、重铬酸钾等）以及各种有机溶剂，可适用于重度侵蚀腐蚀性气体和蒸汽介质。

采用钢衬改性聚四氟乙烯材质：可耐几乎所有的酸、碱、盐介质，除了一些在高温高压等极端条件下可能与聚四氟乙烯发生反应的特殊物质外，能直接抽吸各类腐蚀性气体，满足化工、医药等行业中大多数腐蚀性气体抽吸场景的需求。

采用耐腐蚀合金材质：像哈氏合金、钛合金等材质的真空泵，可耐受中等强度及以下的各种酸、碱、盐溶液的腐蚀。例如在化工生产中常见的硫酸、盐酸、氢氧化钠等溶液，在一定浓度和温度范围内，这类真空泵都能稳定工作。在一些对氯离子浓度有严格要求的环境中，如海水淡化、氯碱工业等，钛合金材质的真空泵也能有效抵御氯离子的腐蚀。

按应用场景划分

实验室场景：一般要求真空泵能耐受常见的有机溶剂、酸碱试剂等产生的腐蚀性气体。如用于旋转蒸发仪、真空干燥箱、离心浓缩机、有机溶剂及腐蚀性样品过滤的真空泵，需确保在接触这些腐蚀性介质时，不会出现零部件腐蚀损坏，影响真空度和泵的正常运行。

化工生产场景：需面对各种强酸、强碱、强氧化剂以及复杂的有机化合物等腐蚀性介质。如在氯碱工业中，要抽吸含有氯气、氯化氢等腐蚀性气体；在石油化工的有机合成反应中，可能涉及到各种有机酸、有机碱等腐蚀性气体的处理。

电镀行业场景：电镀过程中会产生大量含有强酸、强碱以及重金属离子的腐蚀性气体，如硫酸、盐酸、氰化物等。耐腐蚀真空泵需要在这样的环境中长时间稳定运行，保证电镀工艺的顺利进行。

按真空度和适用介质复杂程度划分

低真空度、介质相对简单场景：一些耐腐蚀真空泵可在真空度要求不高，如几十毫巴到几百毫巴的范围内，耐受单一或几种简单腐蚀性介质的腐蚀。这类真空泵常用于一些对真空度要求不高，但有一定防腐蚀需求的小型化工实验、表面处理等领域。

高真空度、介质复杂场景：对于真空度要求较高，如达到几毫巴甚至更低的情况，且需要处理多种复杂腐蚀性介质的真空泵，其耐腐蚀性能要求更为严格。例如在一些高端的半导体制造、真空镀膜等行业，不仅要求真空泵能耐受各种强酸、强碱、有机溶剂等的腐蚀，还需要在高真空度下保持稳定的性能。