耐腐蚀真空泵常采用以下几种耐腐蚀材料：

金属材料

不锈钢：

如 304 不锈钢、316 不锈钢等，具有良好的耐腐蚀性和机械性能。304 不锈钢能抵抗一般的酸碱腐蚀，适用于一些腐蚀性不太强的环境。316 不锈钢因添加了钼元素，耐腐蚀性更好，尤其是对氯化物等具有较强的抵抗能力，常用于化工、制药等有一定腐蚀性介质的行业。

镍基合金：

例如哈氏合金（Hastelloy）、蒙乃尔合金（Monel）等。哈氏合金具有出色的抗腐蚀性，对各种酸、碱、盐溶液都有良好的耐受性，能在高温、高浓度的腐蚀性环境中工作，常用于石油化工、航空航天等领域。蒙乃尔合金则在海水、盐溶液等环境中表现出优异的耐腐蚀性，可用于制造在海洋环境或接触盐类介质的真空泵部件。

钛及钛合金：

钛具有密度小、强度高、耐腐蚀性极佳的特点。钛合金不仅耐腐蚀，还具有良好的耐高温性能。在一些强腐蚀性、高纯度要求的场合，如电子半导体、制药等行业，钛及钛合金被广泛应用于制造真空泵的叶轮、泵体等关键部件，能有效抵抗酸、碱、氯等腐蚀性介质的侵蚀。

非金属材料

工程塑料：

聚四氟乙烯（PTFE）是一种常用的工程塑料，具有极低的摩擦系数、良好的化学稳定性和耐腐蚀性，几乎不溶于任何有机溶剂和强酸强碱，可用于制造真空泵的密封件、衬里等部件。另外，聚醚醚酮（PEEK）也是一种高性能工程塑料，具有优异的耐高温、耐腐蚀和机械性能，在一些对温度和化学稳定性要求较高的真空泵中得到应用。

陶瓷材料：

陶瓷具有硬度高、耐磨性好、化学稳定性强等优点。氧化铝陶瓷、碳化硅陶瓷等常用于制造真空泵的叶轮、泵轴等部件，能抵抗强酸、强碱及高温环境的侵蚀，特别适用于一些对颗粒磨损和化学腐蚀有严格要求的场合，如矿山、冶金等行业中的真空泵。

橡胶材料：

丁腈橡胶、氟橡胶等常用于真空泵的密封件。丁腈橡胶具有良好的耐油性和耐水性，能在一定程度上抵抗油类和水基介质的侵蚀。氟橡胶则具有更优异的耐腐蚀性、耐高温性和耐化学药品性，能适应各种复杂的化学环境，确保真空泵的密封性能，防止介质泄漏。