干式真空泵

多级罗茨泵：可从大气压抽到极限压力 1Pa，能在较宽压力范围内保持高抽速，适用于半导体制造中的负载锁、输送、计量等环节。在控制体积、成本和节电方面表现优异，常作为大腔体抽真空的主泵或预抽泵，与其他类型泵组合成罗茨 + 螺杆泵机组等形式。

爪式泵：采用多级爪式设计，可处理可凝性气体和粉尘，维护周期长。转子对悬浮在泵腔内，无摩擦接触，能在真空大频繁切换的条件下保持良好的使用寿命，适用于高真空要求的半导体工艺，如真空干燥、等离子清洗等。

螺杆泵：采用变径变距锥形螺杆技术，极限真空可达 1Pa 以下，具备稳定的抽气速度、低维护成本和长寿命设计，支持风冷或水冷系统，能够处理微粒和可冷凝气体，适合半导体制造中的严苛工艺环境，如化学气相沉积（CVD）和蚀刻工艺。

涡轮分子泵：通过高速旋转的刀片快速排出气体，能实现高真空水平，具有无油和高真空特性，符合半导体制造工艺所需的高纯度环境，可用于制造高质量的半导体器件。不过，涡轮分子泵通常价格较高，且对氦、氢等轻质气体的排气速度相对较低，常与干泵或旋转泵等辅助泵组合使用，应用于半导体制造中的离子注入、光刻等对真空度要求极高的环节。

此外，在一些特定的半导体制造工艺中，也会用到其他类型的真空泵或真空系统组合。例如，在某些辅助工艺中可能会使用干式涡旋泵，其结构紧凑、运行安静、无油设计保障洁净度，常用于真空吸附、材料输送等。