干式螺杆真空泵：利用两根相互啮合的螺杆在泵壳内旋转来抽气，具有完全干式、无油无污染、耐腐蚀的特点，极限真空度可达～0.1mbar。适用于抽取腐蚀性气体，如氯气、硫化氢等，也可用于化工工艺气体回收，如氯乙烯、氟化工等场景。

隔膜真空泵：通过隔膜在泵腔内的往复运动改变容积来实现抽气，耐腐蚀性强，可处理腐蚀性气体，且流量和真空度可调节，无油污染。但其真空度有限，一般绝对真空在 5000-15000Pa 左右。适用于对真空度要求不高但需要耐腐蚀的场合，如实验室中对腐蚀性气体的处理等。

液环真空泵：以水或油作为密封液，结构简单，运行稳定，可抽吸含液滴、粉尘或可凝性气体，极限真空度单级约为 30mbar，双级约为 10mbar。适用于石化行业的湿式气体抽吸，如催化裂化、焦化装置，也可用于溶剂回收、蒸汽抽吸等场景，还可用于抽吸易燃易爆气体，因为液环可起到冷却和密封的作用。

蒸汽喷射泵：通过高速流体（通常是水或油）的喷射作用来抽取气体，无运动部件，耐腐蚀，极限真空度单级可达～1mbar，多级可达～0.1mbar。适合用于高温、腐蚀性环境，如炼油厂减压蒸馏，也可用于大流量抽气的场景，如石化裂解装置。

爪式真空泵：耐腐蚀性强，真空度较高，可达 3Pa，结构简单，易于操作和维护，运行成本低。能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体等。适用于化工行业腐蚀性溶剂浓缩等场景，在医药、食品、电子光伏等行业也有应用