|  判断耐腐蚀真空泵气路是否泄漏,核心是通过压力变化监测和泄漏点定位两类方法,结合真空泵的运行特性(如负压工况),从整体密封性验证到局部缺陷排查逐步确认,具体方法如下: 一、整体密封性验证:通过压力 / 真空度变化判断是否存在泄漏 这类方法先确认 “是否有泄漏”,不直接定位漏点,适用于初步筛查。 静态保压测试(最常用) 操作流程: 关闭真空泵进气口、排气口的所有阀门,确保气路形成密闭空间; 启动真空泵,将气路内抽至目标真空度(如 - 0.095MPa),稳定 5-10 分钟后关闭真空泵电源; 记录初始真空度(或压力),静置 30 分钟 - 2 小时,观察真空表(或压力表)读数变化。 判定标准: 若真空度下降值≤5% 设计真空度(如从 - 0.095MPa 降至 - 0.090MPa 以内),则气路密封性合格;若下降过快(如 10 分钟内降至 - 0.08MPa 以下),说明存在明显泄漏。 注意事项:测试前需确保气路内无冷凝水、杂质,避免因介质吸附影响压力读数。 动态流量测试(适用于运行中的真空泵) 操作流程: 让真空泵在额定工况下运行,记录其正常工作时的抽速(或排气流量); 关闭真空泵的进气端(如堵住进气口),观察抽速是否显著下降至接近零,或排气流量是否降至最低值。 判定标准: 若关闭进气后,抽速仍保持较高值(如超过正常抽速的 20%),说明气路存在泄漏,外部空气持续进入系统,导致真空泵 “空抽” 仍有流量。 二、局部泄漏点定位:精准找到泄漏位置 确认存在泄漏后,需通过以下方法定位具体漏点,常见泄漏位置包括管道接口、阀门密封面、法兰垫片、真空泵轴封等。 肥皂水检漏法(低成本、易操作) 适用场景:适用于常压或低压气路(如真空泵排气端、管道法兰),不适用于高真空或腐蚀性介质直接接触的部位(避免肥皂水与介质反应)。 操作流程: 配制适量肥皂水(加入少量洗洁精增强起泡性); 用刷子将肥皂水均匀涂抹在疑似泄漏的部位(如法兰螺栓连接处、阀门填料函、管道焊缝); 若该部位有泄漏,气体逸出会推动肥皂水形成持续气泡,气泡密集处即为漏点。 氦质谱检漏法(高精度,适用于高要求场景) 适用场景:对密封性要求极高的耐腐蚀真空泵(如半导体、医药行业用),可检测微小泄漏(泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)。 操作流程: 向真空泵气路内充入少量氦气(作为示踪气体),保持气路内有一定压力; 用氦质谱检漏仪的探头在气路外部缓慢扫描疑似泄漏点; 当探头检测到氦气浓度突然升高时,对应的位置即为漏点,仪器会显示具体泄漏率。 优势:不受介质腐蚀性影响,可穿透狭小缝隙,精准定位微小漏点(如轴封磨损、垫片微小裂纹)。 压力差检漏法(适用于长管道气路) 操作流程: 将真空泵气路分为若干段(如按管道接口分段),用阀门隔离每一段; 对每一段单独进行静态保压测试,观察哪一段压力下降过快,即可缩小漏点范围; 在泄漏段内,再用肥皂水或氦质谱法进一步定位具体漏点。 适用场景:当气路管道较长、接口较多时,通过分段排查可快速缩小范围,提高检漏效率。 三、特殊场景的检漏注意事项 腐蚀性介质气路:若气路内输送腐蚀性介质(如酸雾、有机溶剂蒸汽),检漏时需避免使用肥皂水(可能与介质反应生成杂质),优先选择氦质谱检漏法;或待气路彻底清洗、干燥后,再用肥皂水检测非接触介质的外部接口。 高真空气路:高真空状态下(如真空度>0.098MPa),空气分子稀薄,肥皂水不易起泡,可改用 “酒精挥发法”—— 将少量酒精滴在疑似漏点,若真空度短暂回升(酒精蒸汽被抽入,暂时封堵微小缝隙),则说明该位置存在漏点。 |