1、维护耐腐蚀真空泵，气体倒灌会冲击叶轮，使泵耐腐蚀真空泵反向旋转，为维护泵体及其他设备，一般在泵出口处加装止回阀，现在不断增加的机组将止回阀安装到出口，可起到维护泵和系统的效果。如果系统要求严格的话，也有加装两个止回阀的，止回阀起到一个止回的效果，因为在耐腐蚀真空泵在封闭了之后，被抽容器处于一个真空的状况，而耐腐蚀真空泵泵腔跟周围环境的压力相同大，因为压力差的关系，在耐腐蚀真空泵的时候，耐腐蚀真空泵的空气会被倒回去被抽容器。
    如果在管道处安装止回阀，在关闭真空泵之前关闭这个止回阀的话，泵腔的空气就不会倒回到被抽容器了，停泵的刹那间，排气口压力大于进气口压力，为了防止水环泵内的水被压回真空系统，所以在进气口加止回阀，也叫逆止阀或单向阀。
2、维护系统，故障停泵的刹那间，不锈钢真空泵进口和系统连接处是真空状况，泵的出口一般与大气相通，压力会将水压入系统损坏系统真空，为维护系统一般会在耐腐蚀真空泵的进口和系统连接处加装止回阀。