1、保护耐腐蚀真空泵本身，气体倒灌会冲击叶轮，使泵反向旋转，为保护泵体及其他设备，一般在泵出口处加装止回阀，现在越来越多的机组将止回阀安装到出口，可起到保护泵和系统的作用。如系统要求严格，也有加装两个止回阀的，止回阀起到一个止回的作用，由于在真空泵在关闭了之后，被抽容器处于一个真空的状态，而耐腐蚀真空泵泵腔跟周围环境的压力一样大，由于压力差的关系，在我们关闭真空泵的时候，真空泵的空气会被倒回去被抽容器。

    倘若我们在管道处安装止回阀，在关闭耐腐蚀真空泵之前关闭这个止回阀的话，泵腔的空气就不会倒回到被抽容器了，停泵的瞬间，排气口压力大于进气口压力，为了防止水环泵内的水被压回真空系统，所以在进气口加止回阀，也叫逆止阀或单向阀。

2、保护系统，故障停泵的瞬间，不锈钢真空泵入口和系统连接处是真空状态，泵的出口一般与大气相通，压力会将水压入系统破坏系统真空，为保护系统通常会在耐腐蚀真空泵的入口和系统连接处加装止回阀。