工作原理

隔膜式耐腐蚀真空泵：通过隔膜的往复运动来改变泵腔的容积，从而实现吸气和排气过程。当隔膜向外运动时，泵腔容积增大，形成负压，气体被吸入泵腔；当隔膜向内运动时，泵腔容积减小，气体被压缩并排出泵腔。

涡旋式耐腐蚀真空泵：利用两个涡旋盘的相对运动来形成密封的压缩腔。其中一个涡旋盘固定，另一个涡旋盘绕其轴线做偏心运动，在运动过程中，气体被逐渐压缩并排出。

结构特点

隔膜式耐腐蚀真空泵：结构相对简单，主要由泵体、隔膜、驱动机构等组成。隔膜通常采用耐腐蚀的材料制成，如聚四氟乙烯等，将泵腔与驱动机构隔离开来，避免了被输送气体与驱动机构接触，从而具有良好的耐腐蚀性。

涡旋式耐腐蚀真空泵：结构较为紧凑，由涡旋盘、电机、轴承等部件组成。涡旋盘一般采用特殊的耐腐蚀合金或涂层处理，以提高其耐腐蚀性。由于其运动部件相对较少，运行时较为平稳，噪音较低。

性能特点

隔膜式耐腐蚀真空泵：具有良好的密封性和耐腐蚀性，能够输送含有少量液体或颗粒的气体。其抽气速率相对较低，一般适用于小流量、低真空度的场合。极限真空度通常在 10 - 100Pa 左右。

涡旋式耐腐蚀真空泵：抽气速率较高，能够在较短的时间内达到较高的真空度，极限真空度一般可达到 1 - 10Pa。它对气体的压缩比较大，适用于需要较高真空度和较大抽气速率的场合。但在处理含有颗粒或液体的气体时，需要配备相应的过滤和分离装置。

适用场景

隔膜式耐腐蚀真空泵：常用于化工、制药、食品等行业中，对腐蚀性气体的输送和真空抽吸，如实验室中的小型真空蒸馏、过滤、干燥等过程，以及一些对真空度要求不高，但对耐腐蚀性要求较高的场合。

涡旋式耐腐蚀真空泵：广泛应用于电子、半导体、光学、真空镀膜等领域，这些领域对真空度和抽气速率要求较高，同时也需要设备具有良好的耐腐蚀性，以适应不同工艺中产生的腐蚀性气体。例如，在半导体制造过程中的光刻、蚀刻等工艺中，涡旋式耐腐蚀真空泵被广泛用于提供高真空环境。